非接觸式搬運半導(dǎo)體晶圓機(jī)器人用工具問世
日期：2008-05-06 | 來源：中國振動機(jī)械網(wǎng)
，德國Zimmermann&SchilpHandhabungstechnikGmbH開發(fā)出了半導(dǎo)體生產(chǎn)工序中能以非接觸方式搬運最大300mm晶圓的機(jī)器人用工具“Non-contactWaferGripper”。具體地，就是利用超聲波在工具表面形成一層空氣薄膜，..
，德國Zimmermann&SchilpHandhabungstechnikGmbH開發(fā)出了半導(dǎo)體生產(chǎn)工序中能以非接觸方式搬運最大300mm晶圓的機(jī)器人用工具“Non-contactWaferGripper”。具體地，就是利用超聲波在工具表面形成一層空氣薄膜，使晶圓漂浮于其上。
可利用工具一側(cè)的超聲波振動使工具上方和晶圓下方的空氣薄膜的壓力增大。其原理與空氣軸承相似，但該產(chǎn)品無需以壓縮機(jī)等從外部供應(yīng)高壓空氣。工具和晶圓的距離約在0.05mm～0.5mm之間。
工具翻轉(zhuǎn)時，不是用超聲波而是用氣泵吸附晶圓。據(jù)介紹，此時晶圓和工具之間也不接觸，常態(tài)下使周圍空氣流動即可形成空氣薄膜。
(源自：中國傳動網(wǎng))
責(zé)任編輯:
本文關(guān)鍵詞：
- 安全無小事！礦山安全知識8大危險、6盲、14重點！(2024-10-08)
- 非煤礦山選礦各崗位安全操作規(guī)程(2024-09-14)
- 建議收藏！金屬非金屬礦山常見事故防范措施(2024-09-09)
- 盤點各類篩網(wǎng)適用于篩選何種物料？(2024-08-13)
- @露天礦山企業(yè)，這些汛期要點請注意！(2024-07-25)
- 施工過程中，砂石骨料常見的14個小知識......(2024-07-11)
- 露天礦山綠色礦山建設(shè)面臨的六大環(huán)保問題及處理方法...(2024-06-28)
最新推薦新聞
誠信企業(yè)推薦
太行振動
威猛振動
四達(dá)振動
神宇機(jī)械
萬力振動
北海礦山
河南萬泰
鑫鷹環(huán)保
宇環(huán)機(jī)械
志遠(yuǎn)篩子王
金特振動
新鄉(xiāng)威遠(yuǎn)
恒錦冶金
中鑫機(jī)械
朝陽振動
一周資訊排行
